BP單極脈衝偏壓電源
產品型號：BPPS-10~BPPS-40
產品分類：自動化設備/產業機械 / 自動化設備 / 自動化控制系統
產品特色
產品說明
1. 明顯改善靶材表面電荷累積現象；減少濺射表面的 ARC 次數，提高鍍膜質量。
2. 具有自動穩流功能與電壓陡降特性。
3. 具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能。
4. 具有極佳的負載匹配能力；既保證了靶材表面清潔的 穩定性，又提高了靶材表面清洗速度。
5. 方便維護及高運行壽命。
產品應用
◎適用於金屬、合金及石墨等靶材鍍制金屬膜、碳膜和部分氧化物及
產品規格
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MODEL |
BPPS-10 |
BPPS-20 |
BPPS-30 |
BPPS-40 |
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INPUT VOLTAGE |
3ψ, 380Vac±10％ , 50/60Hz |
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OUTPUT POWER |
10KVA |
20KVA |
30KVA |
40KVA |
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OUTPUT VOLTAGE |
50V－ 800V |
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OUTPUT CURRENT |
12.5A |
25A |
40A |
50A |
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CONTROL MODE |
CURRENT / VOLTAGE |
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SERIAL PORT CONNECTOR |
RS-485, 9-pin, 25-pin, sub-miniature D, female |
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DISPLAY TYPE |
LCD MODLE |
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COOLING |
WATER-COOLED |
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