MSB 雙極脈衝磁控濺射電源(中頻電源)
產品型號：MFPS-01~MFPS-45
產品分類：自動化設備/產業機械 / 自動化設備 / 自動化控制系統
產品特色
產品說明
1. 採取的開關電源技術，體積小、效率高、運行穩定、噪音低、干擾小，在節能和鍍膜工業的穩定性上比傳統電源有明顯的優勢。
2. 具有自動穩流功能，不受輸入電壓和負載大幅度波動影響，保證電源穩定地工作，精確控制膜厚和減少靶材用量。
3. 針對新靶清洗時存在的頻繁 ARC 現象，設計了抑制 ARC 自動保護功能，既保證了靶面清潔的穩定性，又提高了靶面清洗速度。
4. 具有電壓陡降特性，可充分滿足磁控濺射的特殊要求。
5. 雙極脈衝磁控濺射電源用於中頻孿生靶磁控濺射金屬和非金屬材料，特別適合反應磁控濺射鍍製 ITO 膜、介質膜、絕緣保護膜等。
產品應用
◎真空鍍膜設備。
◎感應加熱設備。
◎輝光清洗設備洗
產品規格
|
MODEL |
MFPS-01 |
MFPS-05 |
MFPS-15 |
MFPS-30 |
MFPS-45 |
|
INPUT VOLTAGE |
1ψ, 220Vac±10％ , 50/60Hz |
3ψ, 380Vac±10％ , 50/60Hz |
|||
|
OUTPUT POWER |
1KVA |
5KVA |
15KVA |
30KVA |
45KVA |
|
OUTPUT VOLTAGE |
800V (max1200V) |
||||
|
OUTPUT CURRENT |
2A |
6.25A |
18.75A |
37.5A |
60A |
|
CONTROL MODE |
CURRENT |
||||
|
SERIAL PORT CONNECTOR |
RS-485, 9-pin, 25-pin, sub-miniature D, female |
||||
|
DISPLAY TYPE |
LCD MODLE |
||||
|
COOLING |
AIR- COOLED |
WATER-COOLED |
|||
精選產品
