直流磁控電源
產品型號：ATNDC05~ATNDC300
產品分類：自動化設備/產業機械 / 自動化設備 / 自動化控制系統
產品特色
◎有效的 ARC 抑制。
◎極低的存儲電弧能量。
◎極高的正常運行時間及產品壽命。
◎高功率密度。
◎可設定啟動/關閉時間。
◎可依據客戶需求作修改
產品說明
ATN-POWER.提供先進等離子應用的直流電源;可分標準產品，或根據您的具體應用。該電源可單個或多個輸出直流電源且能非常快速的抑制電弧與極低 的儲存電弧能量。標準可用功率範圍; 0.5 至 30KW，所述電源產品具有強制空氣冷卻或水冷卻。
產品應用
◎適合濺射，反應濺射設備。
◎適合 PVD，偏壓濺射設備。
◎適合蝕刻設備。
◎適合電鍍設備。
◎表面活化。
◎電磁鐵。
◎等離子清洗。
產品規格
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MODEL |
ATNDC10 |
ATNDC50 |
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INPUT VOLTAGE |
1ψ, 220Vac±10％ , 50/60Hz |
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OUTPUT POWER |
1KVA |
5KVA |
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OUTPUT VOLTAGE |
1000V (max1200V) |
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OUTPUT CURRENT |
1.5A |
6.5A |
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SERIAL PORT CONNECTOR |
RS-485, 9-pin, 25-pin, sub-miniature D, female |
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CONTROL MODE |
CURRENT / VOLTAGE / POWER |
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DISPLAY TYPE |
LCD MODLE |
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COOLING |
FORCED AIR |
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MODEL |
ATNDC100 |
ATNDC150 |
ATNDC200 |
ATNDC300 |
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INPUT VOLTAGE |
3ψ, 380Vac±10％ , 50/60Hz |
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OUTPUT POWER |
10KVA |
15KVA |
20KVA |
30KVA |
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OUTPUT VOLTAGE |
800V (max1500V) |
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OUTPUT CURRENT |
12.5A |
18.75A |
25A |
37.5A |
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CONTROL MODE |
CURRENT / VOLTAGE / POWER |
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SERIAL PORT CONNECTOR |
RS-485, 9-pin, 25-pin, sub-miniature D, female |
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DISPLAY TYPE |
LCD MODLE |
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COOLING |
WATER-COOLED |
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精選產品
