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SIO-300 series: Integrated 300mm Process Tools, Oven, FTIR Wafer Inspection Tool
產品型號:SIO-300 series: Integrated 300mm Process Tools, Ov
產品分類:自動化設備/產業機械 / 自動化設備 / 自動化機械之週邊設備
產品特色:FTIR-300 Defect Review Tool Wafer富氏光學紅外線檢測系統(FTIR)自動化設備。可應用300mmWafer。結合光學檢測系統......
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200mm SMIF Pod Openers: POM-200/ PLM-200/ PLM-200UL/ PIS-200
產品型號:POM-200/ PLM-200/ PLM-200UL/ PIS-200
產品分類:自動化設備/產業機械 / 自動化設備 / 自動化機械之週邊設備
產品特色:PLM-200 ●PLM-200 (Class-1) ●200mm SMIF Pod Opener for EFEM Applications ●363......