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台南市永康區亞太工業區中正路279巷21弄59號
電話:886-6-2323927
傳真:886-6-2013306
直流電漿電源系統
產品型號:DCPS系列
產品分類:自動化設備/產業機械 / 其他產業機械 / 變壓器、整流器自動化設備
產品特色
產品功能
符合電漿特性的電氣規格
具備定功率,定電壓,定電流
內建電弧保護功能
內建過電壓,過電流,過熱,超載等保護功能
可用於單雙火線的電漿系統
PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)
產品特色
數位控制系統
設定範圍廣
高電漿密度
可客制化洽詢
應用產業
真空鍍膜製程之清洗處理
電漿輔助化學沉積製程
電漿輔助濺鍍製程
產品規格
規格 |
DCPS001 |
DCPS002 |
DCPSX |
DCPSX2 |
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輸入需求 |
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電壓 |
單相AC220V |
三相AC220V |
三相AC380V |
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電流 |
10A |
15A |
42A |
35A |
頻率 |
50~60Hz |
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輸出特性 |
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功率 |
1kW |
2kW |
10kW |
20kW |
電壓 |
1200V |
800V |
1200V |
|
電流 |
2A |
4A |
25A |
40A |
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通訊介面 |
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PLC Port |
25Pin (模擬控制) |
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尺寸 |
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H*W*D(mm) |
(3U)133*483*630 |
(4U)179*500*737 |
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冷卻方式 |
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模式 |
氣冷 |
兼具氣冷與水冷方式 |
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