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台南市永康區亞太工業區中正路279巷21弄59號
電話：886-6-2323927
傳真：886-6-2013306
電漿去膠渣機
產品型號：PD06
產品分類：自動化設備/產業機械 / 其他產業機械 / 表面處理設備
產品特色
功能
可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等
特色
．高密度電漿源，電漿效率高，減少製程時間
．專利設計之特殊電漿電極
．特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計
．處理之均勻性佳
．電漿均勻性佳
．可使用多種製程氣體
．全自動且容易操作
．設備穩定高，容易維護
．可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台
應用產業
．PCB、FPC
．印刷或黏著前之表面粗化或清潔
產品規格
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項目 |
PD06 |
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機台尺寸 |
2000(W)*2100(D)*2626(H)mm |
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腔體尺寸 |
1100(W)*1480(D)*1220(H)mm |
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腔體材質 |
不鏽鋼體+鋁腔體門 |
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電極 |
水冷電極 |
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處理能力 |
PCB：28片(20"*24"),可移動式夾具 |
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電源供應器 |
10KWatts |
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流量計 |
標準四顆 (N2, O2, CF4, Ar) 選配一顆 |
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壓力計 |
760~10-3 torr |
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真空幫浦 |
幹式幫浦+魯式幫浦 |
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冰水機 |
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溫度監測系統 |
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台車 |
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