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新北市三峽區白雞路62-6號

電話：886-2-66371388

傳真：886-2-26723766

產品型號：AQHWOL

產品簡述
. 全自動化烤箱可與EFEM或機械手臂搭配
. 可把相關數值上傳至伺服器，達到無人工廠自動化之目的

特點說明

自動控制與物聯網整合

. 佈建感測器：溫度感測器、含氧量偵測器、N2氣體含量感測器、無人搬運車(AGV)電池容量檢知、物料在席檢知器(Loader/Unloader/烤箱)，自動開關位置檢知。

. 佈建驅動器：烤箱自動開關馬達與控制器、無人搬運車(AGV)(驅動馬達與堆高擺放 )、風流控制馬達在Loader與烤箱設備各配置一個連網型PLC控制器；Loader與機械手臂之間的聯繫透過WiFi聯網。

產品應用

詳細規格說明
製程溫度	RT ~450℃
溫度均勻度	± 1.5%
無塵度	ISO14644-1 Class 5 @ 0.3 µm
冷卻方式	氣冷(N2/CDA)、水冷
搭配設備	EFEM 、機械手臂
含氧量	20ppm
操作介面	人性化操作介面，並可符合 . CIM . Ethernet & SECS/GEM . PCB ECI
選配	．氣冷快速降溫方式．Solvent 回收系統．快拆式內襯裝置
製程	晶片和基板形式固化，用於PR/PI固化和烘烤；是晶圓等級及扇出型面板級封裝最佳固化解決方案。