QWO無氧化烤箱
產品型號：QWO
產品分類：自動化設備/產業機械 / 其他產業機械 / 乾燥機
產品特色
產品簡述
. 無氧化烤箱與無塵烤箱不同處，為無氧化烤箱在烘烤時，利用惰性氣體充入箱內，可避免產品氧化問題，氣密性極佳可將含氧量低至10ppm，可達最佳無氧之烘烤環境。
產品規格
特點說明
10ppm無氧化關鍵技術
．特殊洩壓設計：以排氣量可調之閥件搭配入氣量，使爐內維持正壓，保持低含氧環境。
．管狀電熱出線孔氣密，利用電熱內外絕緣設計，加強氣密性。
．N2節流設計-將氮氣迴路設計切分為兩部份(主/輔)，可自動控制大小流量。
．冷卻夾層設計-引用特殊間接冷卻方式，使降溫時可維持無氧化之環境。
．內門設計-形成無型氮氣氣牆，除阻擋外部氣體進入，同時可阻擋熱散失。
．聯外管道及門框充入N2冷卻並將熱傳導出之廢熱回收以降低能源耗損。
產品應用
IC封裝、晶圓烘烤、鍍膜製程...等各種需乾燥、烘烤製程生產之產業應用。
精選產品
