薄板承載盤
產品型號:
產品分類:自動化設備/產業機械 / 檢測設備 / 檢測、量測設備及其另件
產品特色
*高吸附力
*高平面度、平行度研磨
*孔隙率為20-25%
*表面粗糙度<2.0µm
*低電阻值抗靜電性佳多孔陶瓷
*厚度依客戶要求,常用0.7mm、1.0mm、2.0mm
*常用SiC及GaAs晶圓的承載、吸附、承載及清洗
精選產品
產品型號:
產品分類:自動化設備/產業機械 / 檢測設備 / 檢測、量測設備及其另件
*高吸附力
*高平面度、平行度研磨
*孔隙率為20-25%
*表面粗糙度<2.0µm
*低電阻值抗靜電性佳多孔陶瓷
*厚度依客戶要求,常用0.7mm、1.0mm、2.0mm
*常用SiC及GaAs晶圓的承載、吸附、承載及清洗