力能精密有限公司
力能精密有限公司專營高精度微米到次微米孔隙的多孔陶瓷、真空吸盤及氣浮元件。
製程能力:
*產品孔徑大小可由0.2µm-100µm,應用於各種特殊用
*目前主產品為2µm-5µm、15µm-20µm、30µm-40µm。
*高平面度要求,可依尺寸達0.03-0.5mm
*單片尺寸可達520*520mm,組合尺寸可達2*2mm以上
*製程可控制孔隙率大小(10-60%),常用35-40%
*可客製化各種形狀及大小
*底座材質:精密陶瓷、石材、不鏽鋼、鋁合金
*多種顏色:白、黑、咖啡黑、深黑、土黃色等
*吸盤內部可設計加熱控溫,最高溫度150度,方便製程加熱需求
*特別開發低電阻值、高抗靜電佳(電阻值105~109歐姆)多孔陶瓷
主要產品
薄板承載盤、加熱式真空吸盤、消靜電緻密陶瓷、消靜電陶瓷手臂、大尺寸真空吸盤、晶圓切割盤、air bearing、非接觸傳輸氣浮條
精選產品