捲繞式濺鍍鍍膜機
產品型號:HML-2
產品分類:自動化設備/產業機械 / 其他產業機械 / 表面處理設備
產品規格
◎ 應用:電子紙、ITO薄膜、軟性電路板,太陽能薄膜電池、醫療試片、RFID天線及水氧阻隔膜等各項產品。
◎ 尺寸:腔體φ1310x1585mmL
◎ 特點:
(1).允許多個鍍膜源(金屬、合金)同時鍍膜,且無需破真空。
(2).分離式腔體可進行不同壓力之各式蒸鍍、濺鍍、電子槍或CVD等鍍膜方式。
(3).使用交流伺服馬達增加製程穩定性。
(4).雙向繞捲設計,多層鍍膜製程亦無須破真空。
(5).光學或電阻式線上即時膜厚監控系統,可確保鍍膜均勻性。
◎ 備註:
張力:0.2~2.0 PLI
轉速:≧30 m/min
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