產品規格

◎ 應用：車燈反射罩、車燈內部框板和車燈內飾品等。
◎ 尺寸：φ1000x1850mm
◎ 特點：
(1).設計PECVD雙反應區：提高Monomer解離率及提升膜厚均勻度，並縮短製程時間。
(2).最佳化排氣系統：縮短管路長度，搭配知名廠牌Pump達到最佳排氣效果。
(3).無暴露於真空環境中之閥桿：免除汙染物附著於閥桿表面，降低腔體漏氣之機會。
(4).觸控電腦IPC：可儲存較複雜的製程參數及歷史紀錄，並能執行網路遠端控制，Trouble Shooting零時差。

◎ 備註：PVD+PECVD重合膜設備。

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