白光干涉儀
產品型號：SWIM1510
產品分類：自動化設備/產業機械 / 檢測設備 / 檢測、量測設備及其另件
產品特色
奈米3D顯微形貌快速呈現
SWIM系列掃描白光干涉儀結合台智公司(Carmar) 的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術，不需要複雜光路調整程序，即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析，不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析，更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析， 並追溯至ISO國際規範。
SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀，具有極強的測量能力，可在幾秒內就完成整個視場的掃描，得到測量樣品的3D圖形與高度數據，檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的
共焦掃描顯微鏡，3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或雷射，開機快又安全。
無論是拋光面，還是粗糙面，甚至是透明材質，只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測，應用領域包含：
1. 玻璃鏡片
2. 鍍膜表面
3. 晶圓（Wafer）
4. 光碟／硬碟（DVD Disk／Hard Disk）
5. 微機電元件 （MEMS Components）
6. 平面液晶顯示器（LCD）
7. 高密度線路印刷電路板（ HDI PCB ）
8. IC封裝（ IC Package）
9. 精密微機械元件（Micro Mechanical Parts）
10. LED基板表面微圖案結購 (LED Subtract Micro-pattern)
11. 以及其它材料分析與元件微表面研究。
相移垂直掃描專利技術，使深度解析度達0.1nm
SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm，平面空間分辨力0.61nm(50X物鏡)的量測能力，最高達12μm/s的垂直掃描速度，所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現能力是科研、研發、生產品檢時所必備的工具。
產品規格
量測用光學系統
白光干涉顯微光學系統
高度測量
測量範圍
100 um ( 400 um, 選配)
量測解析度
0.1 nm
重覆精度(σ) (1)
≦ 0.1 % ( 量測高度： > 10 m m)
≦ 10 nm ( 量測高度：1 m m ~ 10 m m)
≦ 5 nm ( 量測高度： <1 m m )
量測控制
自動
掃瞄速度 (mm ／s)
12 （最快）
精選產品
