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Wafer Erase UV 245nm 紫外光擦除設備/ 表面改質 柵型燈管

 

產品型號：Wafer Erase UV 245nm 紫外光擦除設備/ 表面改質 手動.自動量產型 柵型燈管

產品分類：自動化設備/產業機械 / 其他產業機械 / 表面處理設備

 

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產品特色

 

手動/全自動 Wafer Erase 設備
> 254nm 非接觸式光波照射，無電弧損傷晶圓線路問題.
> 採用大功率(350W500W)燈管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 採柵型燈管併接,高照射均勻度.
> 無臭氧問題/不需廠務熱排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屜誤開熄燈設計).

UV 254nm ERASE 專用燈管
> 冷陰極電極設計, 燈管使用壽命長.
> 柵欄型設計照射均勻性高.
> 燈管可併排增大照射面積.
> 無臭氧產生燈管設計.
> 易於更換燈管設計.
> 支援美國 Spectronics. JeLight 以及新加坡 CEI erase 設備.

 

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