立式雙門蒸濺鍍兩用真空蒸鍍機
產品型號:BPSD-1500
產品分類:塑橡膠產業機械 / 塑膠機械 / 塑膠表面處理機械
產品特色
1. 左、右爐皆可單獨蒸著。
2. 適用RF或濺鍍把材。
3. 迴轉機構造係採用供自轉方式,針對有曲度產品的蒸著,可達到極佳的均勻效果。
產品用途:
1.手機機殼、按鍵、PDA及其他資訊產品外殼之金屬化或NCVM蒸著。
2. 汽車後視鏡或其他裝飾性產品之金屬化或NCVM蒸著。
產品規格
BPSD-1500 機械主構成
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腔體直徑
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1,500 mm
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腔體高度
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1,500 mm
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可蒸鍍尺寸
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∮135x1,250x24
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視窗
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1組
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鎢絲數
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20~24個
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迴轉幫浦
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6,000~10,000公升/ 每分鐘
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加強幫浦
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2,000~5,000 M3/ 每小時
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擴散幫浦
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45,000公升/ 每秒
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維持幫浦
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300~600公升/每分鐘
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高真空閥
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36英吋
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粗抽閥
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6英吋
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預抽閥
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6英吋
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洩氣閥
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2英吋
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維持閥
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1英吋
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到達真空度
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優於10-6Torr
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排氣速度
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從一個大氣壓到5x10-5Torr 約十分鐘(含Unloading)
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操作方式
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自動,手動
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蒸著電源
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35KW
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濺鍍靶材
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2~4個
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濺鍍源
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RF或DC
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真空計
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Pirani (760 ~10-3Torr); Cold Cathode (10-3~ 10-6 Torr)
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控制箱
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1組
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冷卻系統
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水壓: 4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2
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冷卻水流量
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100 公升/ 每分鐘
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冷卻水溫度
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入水18℃,出水25℃,標準溫度20℃
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超低溫冷凍機
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超低溫冷凍機-110~-140℃(採用環保冷媒)
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空壓機
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3HP (空壓: 4 ~ 8 Kg/ cm2)
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所需電力
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85KW
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環境需求
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無塵室等級優於十萬級,EXOPY平面地板,空調:溫度25±3℃,濕度50±10%
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精選產品