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真空磁流體軸封
產品型號:ACH,AFS,ANS,AFH,BBS,ASS
產品分類:零組件配件 / 機械零件(零組件) / 機械軸封及其零件
產品特色
當動力以旋轉形式通過真空腔壁,旋轉軸密封的可靠度與磨耗率,是真空製程產品良率與設備妥善率的一個重要因素。
傳統真空軸封會因膠環磨耗並產生微屑污染,需要經常檢查與維護。利用磁流體作為軸封材料,在旋轉軸上形成阻絕大氣進入真空腔體的『液態』環型屏障,具有無磨耗、無微屑汙染、高轉速、低阻滯等優點。常溫下使用,可以數年不須保養或置換。
產品規格
輸送帶式真空製程設備傳動軸封
行星式薄膜濺鍍機傳動軸封
光碟片高速濺鍍轉盤軸封
薄膜沉積爐轉盤軸封
真空熱處理爐轉盤軸封
拉晶機旋轉真空軸封
離子佈植機靶盤轉動軸封
共軸式多通道迴旋真空/供氣管路
高速旋轉真空吸盤
真空機械手臂關節軸封
氣密防潮封罩
監視器防爆全方位迴轉封罩
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