微小形狀測定儀
產品型號:ET4000
產品分類:自動化設備/產業機械 / 檢測設備 / 檢測、量測設備及其另件
產品特色
優異的精度,穩定性和功能, ET4000是全自動,最適合於微小形狀,台階高度和FPD ,晶片,硬碟的粗糙度的測量,以及其它奈米級的應用程序。
ET4000系列可根據量測樣品提供多種機型來選擇。
1.具有精密真直度,提高再現性
2. 採用直動式檢出器,無 ARC 誤差問題
3. 具有各種尺寸 Table,客戶可指定尺寸
4. 測定再現性,1 Sigma 5A° 以下
5. 適合半導體100A°~100μm 薄 膜段差量測
產品規格
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