單晶片蝕刻清洗設備 SWC30XX
產品型號：單晶片蝕刻清洗設備 SWC30XX
產品分類：自動化設備/產業機械 / 自動化設備 / 自動化機械，氣壓式
產品特色
Model Comparisons
Feature SWC3008 SWC3012 SWC3016
No. of Chambers 8 12 16
Max Throughput 480 wf/hr User Spec. User Spec.
Width 2,230 mm 2,300 mm 2,300 mm
Length 2,165 mm 2,760 mm 2,760 mm
Height 3,150 mm 2,450 mm 3,150 mm
精選產品
